元素分析技術(shù)會(huì )遇到必須糾正或補償的干擾，以獲得足夠的分析結果。

　　在XRF光譜測定中，主要干擾來(lái)自物質(zhì)中可能影響（矩陣效應）感興趣元素分析的其他特定元素。然而，這些干擾是眾所周知的并記錄在案；并且系統軟件中的儀器升級和數學(xué)校正可以輕松快速地糾正它們。

　　在某些情況下，樣品的幾何形狀可影響XRF分析，但是通過(guò)選擇最佳采樣面積，研磨或拋光樣品或通過(guò)壓制顆粒，可以很容易地進(jìn)行補償。

　　定量元素分析

　　XRF光譜法使用經(jīng)驗方法（使用與未知物質(zhì)相似的標準品的校準曲線(xiàn)）或基本參數（FP）進(jìn)行定量元素分析。

　　FP是優(yōu)選的，因為它允許在沒(méi)有標準或校準曲線(xiàn)的情況下執行元素分析。這使得分析人員可以立即使用該系統，而無(wú)需花費額外的時(shí)間為感興趣的各種元素和材料設置單獨的校準曲線(xiàn)。